氮化铝钪靶材（AlScN）
| 氮化物靶材 | ||||
| 材料名称 | 化学符号 | 纯度 | 规格 | 生产方法 |
| 氮化铝 | AlN | 99.5% | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氮化硼 | BN | 99.5% | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氮化铬 | CrN | 99.5% | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氮化镓 | GaN | 99.5% | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氮化铪 | HfN | 99.5% | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氮化铌 | NbN | 99.5% | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氮化硅 | Si3N4 | 99.5%，99.9% | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氮化钽 | TaN | 99.5% | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氮化钛 | TiN | 99.5% | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氮化钒 | VN | 99.5% | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氮化锆 | ZrN | 99.5% | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 氮化铝钪 | AlScN | 99.9%，99.99% | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
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