硅掺硼靶材（Si+B）
| 硅化物溅射靶材 | ||||
| 材料名称 | 化学符号 | 纯度 | 规格 | 生产方法 |
| 硅化钴 | CoSi2 | 2N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 硅化铬 | CrSi,CrSi2, Cr3Si | 2N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 硅化铪 | HfSi2 | 2N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 硅化铌 | Nb5Si3, NbSi2 | 2N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 硅化钼 | Mo5Si3, MoSi3 | 2N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 硅化镍 | NiSi2 | 2N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 硅化钽 | Ta5Si3 | 2N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 二硅化钽 | TaSi2 | 3N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 硅化钛 | Ti5Si3, TiSi2 | 2N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 硅化钒 | V3Si, VSi2 | 2N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 硅化钨 | WSi2 | 2N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 硅化锆 | ZrSi2 | 2N5 | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 硅掺硼 | Si+B | 4N | 平面靶，按图纸定制 | 粉末烧结法 |
| 部分新产品未及时更新加入表格中，有特殊需求可联系客服咨询确认 | ||||
