硅掺硼靶材(Si+B)
硅化物溅射靶材 | ||||
材料名称 | 化学符号 | 纯度 | 规格 | 生产方法 |
硅化钴 | CoSi2 | 2N5 | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
硅化铬 | CrSi,CrSi2, Cr3Si | 2N5 | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
硅化铪 | HfSi2 | 2N5 | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
硅化铌 | Nb5Si3, NbSi2 | 2N5 | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
硅化钼 | Mo5Si3, MoSi3 | 2N5 | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
硅化镍 | NiSi2 | 2N5 | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
硅化钽 | Ta5Si3 | 2N5 | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
二硅化钽 | TaSi2 | 3N5 | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
硅化钛 | Ti5Si3, TiSi2 | 2N5 | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
硅化钒 | V3Si, VSi2 | 2N5 | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
硅化钨 | WSi2 | 2N5 | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
硅化锆 | ZrSi2 | 2N5 | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
硅掺硼 | Si+B | 4N | 平面靶,按图纸定制 | 粉末烧结法 |
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